SK Hynix、High-NAツールとPSM導入によりEUVロードマップを拡大

SK hynixは、次世代DRAM量産のため、High-NA EUV装置の導入を2025年後半に行い、2026年から関連研究開発を開始します。EUV性能向上のため、PSM技術なども採用し、高性能・大容量チップへの需要増に対応します。

• SK Hynixは、High-NA EUV装置を導入し、EUVロードマップを拡大すると発表しました。
• 次世代DRAMの量産に向けたEUV技術の活用を進めています。
• High-NA EUV装置は2025年下半期に導入される予定です。