中国初の国産DDU生産、試作を超えた真のテストを公開

中国は、国内で開発された液浸DUVリソグラフィ装置の生産を開始しました。これは、試作品段階を超え、限定的な商業展開に向けた重要な一歩です。

• 中国が国産の液浸DDU（深紫外線）リソグラフィ装置の量産を開始し、試作段階を超えた実用化に向けたテストを進めていることが明らかになりました。
• 中国は、自社開発の液浸DDUリソグラフィ装置の本格的な生産に移行し、性能評価などの実証試験を行っていると報じられています。
• この国産DDU装置は、先端半導体製造における中国の自給自足能力を高めることを目的としているとみられています。