CMTX、チップエッチング用に590mm単結晶シリコン製グラウンドリングを開発

韓国のCMTX社は、チップエッチング装置用の約590mmの単結晶シリコン製グラウンドリングを開発しました。同社は、大型チャンバー部品の製造に使用される600mmクラスのインゴットの生産を拡大し、顧客検証を開始する予定です。

• 韓国のCMTX社は、チップエッチング装置用の大型グラウンドリングを開発した。
• このグラウンドリングは、590mmの単結晶シリコン製である。
• 同社は600mmクラスのインゴット製造能力を拡大している。
• 大型チャンバー部品の製造技術向上に貢献する。
• 顧客検証を開始し、量産化を目指す段階にある。