王子HD、PFASフリーの次世代半導体レジストで幅10nm直線パターン形成

王子ホールディングスは、次世代半導体製造（A14世代）に向けた木質バイオマス由来のPFASフリーフォトレジストで、幅10nmの直線パターン形成に成功しました。これは環境負荷低減と高性能化を両立する成果です。